Semiconductor microlithography V - March 17-18, 1980, San Jose, California
- Författare
- (Jim Dey, ed. presented by the Society of photo-optical instrumentation engineers ..)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| cop. 1980 | USA, Bellingham, Wash | 204 sidor. diagr., ill., tab. |