Semiconductor microlithography V - March 17-18, 1980, San Jose, California

Författare
(Jim Dey, ed. presented by the Society of photo-optical instrumentation engineers ..)
Genre
Konferenspublikation
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
cop. 1980 USA, Bellingham, Wash 204 sidor. diagr., ill., tab.